1. 電阻蒸發(fā)源蒸鍍發(fā)  


A. 加熱：高熔點(diǎn)金屬做成適當(dāng)形狀蒸發(fā)源，電流通過直接加熱。 


B. 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)便宜、使用可靠


C. 缺點(diǎn)：所能到到的最高溫度有限，加熱器壽命較短


D. 適合：熔點(diǎn)不太高，尤其對(duì)膜層質(zhì)量要求不大高的大批量生產(chǎn)。 


 2. 電子束蒸發(fā)源蒸鍍發(fā) 


A. 蒸發(fā)材料放入冷水鉗鍋中，利用電子束加熱


B. 優(yōu)點(diǎn)：獲得更大能量密度，使高熔點(diǎn)材料蒸發(fā)且速度快，膜的純度較高，熱效率高。


C. 分類：環(huán)形槍，直槍，e型槍和空心陰極槍等幾種。


D. 適合：高熔點(diǎn)，純度要求高的材料。